Продукция
Универсальные высокоточные источники питания для индукционного нагрева
Полностью цифровое управление – 24-часовая бесперебойная работа
Двадцать лет технических осадков – стремление улучшить стабильность температурного поля.
Описание
маркер
После двадцати лет развития и постоянного совершенствования, особенно после того, как в 2013 году стратегия управления была усовершенствована до «метода анализа реактивности», высокоточный источник питания совершил качественный скачок вперед и стал самым экономичным источником питания для роста кристаллов в мировой промышленности.
Высокоточный источник питания индукционного нагрева Bamac может применяться для различных кристаллов, таких как карбид кремния, сапфир и лазерные кристаллы; высокочастотный высокоточный тип подходит для таких применений, как зонная плавка, очистка полупроводников и холодные тигли. Помимо многих отечественных пользователей, компания Bamac стала поставщиком таких международных гигантов, как Agilent, Ulvac, Цзинцы и Ляньхэ Цзинти.
Технологический процесс применения
★ Подходит для различных областей выращивания кристаллов, включая монокристалл карбида кремния (SiC), нитрид галлия (GaN), монокристаллический кремний, поликристаллический кремний, искусственный сапфир, лазерные кристаллы, кристаллы YAG и др.
★ Применяется для индукционного нагрева графитового тигля в печах синтеза сырья SiC.
★ Применяется для нагрева графитовых контейнеров и графитовых дисков в процессе эпитаксии SiC.
★ Подходит для других областей индукционного нагрева с высокими требованиями к стабильности.
| 10000+ | 80%+ | 90%+ |
| Реализованные проекты и достижения | Рыночная доля выращивания SiC-субстратов | Доля рынка синтетического сапфира, лазерных кристаллов и кристаллов YAG |
Функциональные особенности
★ Полностью цифровое интеллектуальное управление на базе DSP-процессора + CPLD-программируемого логического контроллера + 32-разрядного высокоточного АЦП.
★ Высокое разрешение и точность управления: разрешение до 0,0025%, минимальный шаг регулировки – 1 Вт (для источника питания 40 кВт); точность и стабильность управления выше 0,05%.
★ Высокая надежность и долгосрочная стабильность: способность к непрерывной работе 24 ч без остановки; обеспечивает стабильный рост кристалла на протяжении всего цикла.
★ Стабильный выход мощности, не зависящий от колебаний электросети, размеров и температуры нагрузки, а также перемещения индукционной катушки.
★ Автоматический перезапуск при просадке/кратковременном отключении сети: после восстановления электропитания источник автоматически возвращается к предыдущему рабочему режиму, гарантируя непрерывность процесса роста кристалла.
★ Автоматическое отслеживание фазы и частоты: в реальном времени отслеживает резонансную частоту, обеспечивая работу в оптимальном режиме; при замене катушки не требуется перенастройка оборудования.
★ Использование быстрых и высокоэффективных IGBT-силовых полупроводниковых инверторов.
★ Широкий набор интерфейсов ввода-вывода: возможна опция аналоговых сигналов 0-5 В, 0-10 В, 1-5 В, 0-20 мА, 4-20 мА (вход/выход).
★ Поддержка интерфейсов RS485 (Modbus) и RS232, возможное расширение до Profibus\Profinet, Ethernet, оптоволокна, 5G и других шин/сетевых протоколов.
★ Высокая надежность и сверхнизкий уровень отказов; расчетный срок службы источника – 20 лет (при нормальном обслуживании и обеспечении качества охлаждающей воды).
★ Поддержка нестандартного исполнения: разработка решений в соответствии с требованиями конкретного технологического процесса.
★ Возможность проектирования и изготовления индукционных катушек различных размеров, числа витков и конструкций.
★ Изготовление индивидуальных алюминиевых держателей для катушек.
★ При применении в металлических печных катушках возможно нанесение высокотемпературного изоляционного покрытия, предотвращающего вакуумный пробой.
★ Предоставление соединительных решений между источником питания и катушкой: коаксиальные токовые кабели средней частоты (естественное охлаждение), а также шины из меди или водоохлаждаемые кабельные сборки.
Область применения
Печь для выращивания кристаллов карбида кремния
Применяется преимущественно для индукционного нагрева графитовых тиглей в установках для выращивания кристаллов карбида кремния.
Отжиг кристаллов
Применяется в основном для отжига кристаллов, выращенных из различных материалов, с целью снятия внутренних напряжений в кристалле; обычно используется индукционный нагрев графитовых тиглей.
Печь для выращивания кристаллов сапфира, кристаллов YAG и лазерных кристаллов
Применяется в основном в печах для выращивания кристаллов таких, как сапфир, YAG и лазерные кристаллы, для индукционного нагрева тиглей из иридия, платины, вольфрама, молибдена и карбида тантала.
Печь для эпитаксиального роста карбида кремния
Применяется в основном для индукционного нагрева графитового цилиндра в печах для эпитаксиального роста карбида кремния.
Технические характеристики
| Модель изделия | AtecFC-20/380T | AtecFC-40/380T | AtecFC-60/380T | AtecFC-80/380T | AtecFPC-100/380T | |
| Входное напряжение | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | |
| Входной ток | 34A | 68A | 102A | 136A | 170A | |
| Номинальная выходная мощность | 20kW | 40kW | 60kW | 80kW | 100kW | |
| Выходная частота | 1~20kHz(Может быть спроектировано и изготовлено по индивидуальному заказу, обычный диапазон частот：1~3kHz，3~7kHz, 7~12kHz，15~20kHz) | |||||
| Выходной ток | 100~3000A（Проектируется в соответствии с фактическим согласованием） | |||||
| Габариты шкафа моноблока (мм) | 460x600x600 | 460x600x600 | 560x700x800 | 560x700x800 | 750x900x1000 | |
| Габариты основного контроллера раздельной системы (мм) | 560x400x950 | 560x400x950 | 560x400x950 | 560x400x950 | 1100x560x1400 | |
| Габариты шкафа трансформатора раздельной системы (мм) | 250x580x450 | 400x700x450 | 400x700x450 | 400x700x450 | 500x800x600 | |
| Разрешающая способность по мощности | 0.0025%*Номинальной мощности | |||||
| Точность управления | 0.02%*Номинальной мощности | |||||
| Опции / Дополнительная комплектация | Модуль выполнения технологической программы; онлайн-мониторинг сопротивления изоляции; сенсорный экран и др.
|
|||||
| Интерфейс управления I/O | Выбор в соответствии с требованиями: аналоговые входы/выходы 0–5 В, 0–10 В, 1–5 В, 0–20 мА, 4–20 мА | |||||
| Габариты модели | Обычный корпус по выбору, также возможна нестандартная индивидуальная разработка | |||||
| Коммуникационный интерфейс | Поддержка управления по RS485 (Modbus) и RS232, с возможностью расширения интерфейсов шины/сети Profibus\Profinet, Ethernet, оптоволоконной связи, 5G-связи и др. | |||||
| Проектный срок службы | 20 лет | |||||
| Аксессуары | Возможна разработка, согласование и изготовление индукционных катушек различных размеров, числа витков и конструкций | |||||
| Модель изделия | AtecFPC-120/380T | AtecFPC-160/380T | AtecFPC-200/380T | AtecFPC-240/380T | AtecFPC-300/380T | |
| Входное напряжение | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | Трёхфазное питание380V±5%，50Hz/60Hz | |
| Входной ток | 204A | 272A | 340A | 408A | 540A | |
| Номинальная выходная мощность | 120kW | 160kW | 200kW | 240kW | 300kW | |
| Выходная частота | 1~20kHz((Может быть спроектировано и изготовлено по индивидуальному заказу, обычный диапазон частот：1~3kHz，3~7kHz, 7~12kHz，15~20kHz) | |||||
| Выходной ток | 100~3000A（Проектируется в соответствии с фактическим согласованием） | |||||
| Габариты шкафа моноблока (мм) | 750x900x1000 | 750x900x1000 | 750x900x1000 | 900x1250x1250 | 900x1250x1250 | |
| Габариты основного контроллера раздельной системы (мм) | 1100x560x1400 | 1100x560x1400 | 1100x560x1400 | 1100x560x1400 | 1100x560x1400 | |
| Габариты шкафа трансформатора раздельной системы (мм) | 500x800x600 | 500x800x600 | 500x800x600 | 500x800x600 | 600x1100x800 | |
| Разрешающая способность по мощности | 0.0025%*Номинальной мощности | |||||
| Точность управления | 0.02%*Номинальной мощности | |||||
| Опции / Дополнительная комплектация | Модуль выполнения технологической программы; онлайн-мониторинг сопротивления изоляции
|
|||||
| Интерфейс управления I/O | Выбор в соответствии с требованиями: аналоговые входы/выходы 0–5 В, 0–10 В, 1–5 В, 0–20 мА, 4–20 мА | |||||
| Габариты модели | Обычный корпус по выбору, также возможна нестандартная индивидуальная разработка | |||||
| Коммуникационный интерфейс | Поддержка управления по RS485 (Modbus) и RS232, с возможностью расширения интерфейсов шины/сети Profibus\Profinet, Ethernet, оптоволоконной связи, 5G-связи и др. | |||||
| Проектный срок службы | 20 лет | |||||
| Аксессуары | Возможна разработка, согласование и изготовление индукционных катушек различных размеров, числа витков и конструкций | |||||
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Высокочастотный источник питания для индукционного удаления лаковой изоляции с обмоточных проводов
Конструкция согласования для высокочастотных разделительных трансформаторов Конструкция согласования для специальных многостанционных индукторов
Источник питания для нанесения покрытий (вакуумного напыления)
Высокоинтегрированный, надежный и экономически эффективный выбор
Серия водяного охлаждения индукторов
Серия индукторов с водяным охлаждением в основном используется для нагрева непроводящих материало...
Источник питания для индукционного нагрева с термостатированием для постоянных магнитов
Специальная конструкция системы отопления для квадратных холодильных рам – гарантирует равномерную температуру нагрева
Среднечастотный мощный коаксиальный кабель
Эта серия коаксиальных кабелей в основном используется для соединения между индукционным кабелем,...
Термостойкий мощный сплавной индукционный кабель
Индукционные кабели этой серии в основном применяются для подогрева перед сваркой и послесварочно...
Источники питания для индукционного нагрева в металлообработке
Полностью воздушное охлаждение по технологии IGBT – энергоэффективность и экономия электроэнергии Долговечные спутники с высокой надежностью, низкими эксплуатационными расходами и расчетным сроком службы более 15 лет.
Универсальные портативные источники питания для индукционного нагрева
Портативный дизайн ручного генератора, мобильная эксплуатация более гибкая Полный дизайн главного блока с воздушным охлаждением, разделение воды и электричества более прочное.
Серия воздушно-охлаждаемых индукторов
Индукторы серии с воздушным охлаждением в основном применяются для индукционного нагрева магнитоп...
Источники питания для индукционного нагрева нефтегазовых трубопроводов
Пионер в области технологии индукционного нагрева с воздушным охлаждением Бесперебойная работа в зимних условиях в холодных регионах
Источники питания для индукционного нагрева для пайки
Сверхкомпактная конструкция портативного генератора – адаптирована к технологическим требованиям 20 лет производственной практики – лучший выбор в отрасли.
Источник постоянного тока
Высокая эффективность, надежность, точное управление, высокая точность и стабильность
Универсальные источники питания для сверхвысокочастотного индукционного нагрева
Новая технология широкополосных полупроводниковых силовых приборов из карбида кремния (SiC-MOSFET) – высокая эффективность, надежность и низкие потери
Источник питания для индукционного нагрева пресс-форм
Портативный дизайн ручного генератора, мобильная эксплуатация более гибкая Полный дизайн главного блока с воздушным охлаждением, разделение воды и электричества более прочное.
Источник питания для индукционного нагрева оптоволокна
Высокоточный режим работы с постоянной мощностью – не боится колебаний сети Высокая надежность и низкая частота отказов – стабильная работа 24 часа в сутки
