Продукция
Источники питания для индукционного нагрева в полупроводниковой промышленности
Полностью цифровое управление – 24-часовая бесперебойная работа
Двадцать лет технических осадков – стремление улучшить стабильность температурного поля.
Описание
маркер
Компания Bamac впервые разработала новый метод управления индукционным нагревом для роста кристаллов и создала высокоточный источник питания для индукционного нагрева специально для полупроводниковой промышленности. После двадцати лет развития и постоянного совершенствования, особенно после того, как в 2013 году стратегия управления была усовершенствована до «метода анализа реактивности», высокоточный источник питания совершил качественный скачок и стал источником питания для роста кристаллов с очень высокими показателями стоимости в мировой промышленности. Помимо многих отечественных пользователей, компания Bamac стала поставщиком Agilent, Ulvac, Цзинцы, Ляньхэ Цзинти и других международных гигантов.
| 12000+ | 80%+ | |
| Реализованные проекты и достижения | Многократный опыт применения различных уровней мощности | |
Функциональные особенности
★ Высокое разрешение и точность управления: разрешение до 0,0025%, минимальный шаг регулировки 1 Вт (для источника 40 кВт); точность и стабильность управления выше 0,05%.
★ Высокая надежность и долговременная стабильность: возможность непрерывной работы 24 часа в сутки.
★ Стабильный выход мощности: не зависит от колебаний сетевого напряжения, размеров и температуры нагрузки, а также от смещения индукционной катушки.
★ Автоматический перезапуск при падении/пропадании напряжения сети: при кратковременном падении или исчезновении сетевого напряжения источник автоматически восстанавливает предыдущую мощность после возобновления питания.
★ Полностью цифровое управление DSP+CPLD.
★ Поддержка коммуникационного управления RS485 (Modbus) и RS232; возможна расширяемость до Profibus/Profinet, Ethernet, оптической связи, 5G и других интерфейсов шины/сети.
★ Поддержка цифровой и высокоточной аналоговой установки параметров, высокоточный аналоговый выход (соответствующий мощности и току) и разнообразные цифровые интерфейсы для пользователя.
★ Возможность индивидуального проектирования источников с разной частотой, мощностью и функционалом.
★ Система охлаждения может быть водяной или воздушной; конструкция — моноблок или раздельная.
★ Расчетный срок службы источника питания — 20 лет (при нормальном обслуживании; для водяного охлаждения требуется контроль качества воды).
★ Возможность проектирования и изготовления индукционных катушек любых размеров, числа витков и конструкции; возможность изготовления алюминиевых креплений для катушек. Для катушек, используемых в металлических печах, возможна термостойкая изоляция, устойчивая к разрядам в вакууме.
★ Предоставляется среднечастотное коаксиальное соединение высокого тока от источника к катушке (естественное охлаждение); также возможно проектирование соединений с медными шинами или водяными кабельными сборками.
Область применения
★ Высокоточный индукционный нагреватель для выращивания кристаллов на подложках SiC
★ Применяется для индукционного нагрева печей для выращивания кристаллов на подложках карбида кремния (SiC) по методу PVT
★ Подходит для кварцевых трубчатых печей (внешние катушки) и печей с металлическим корпусом (внутренние катушки)
★ Высокоточный индукционный нагреватель для печей исходного материала SiC, двухканальный высокоточный индукционный нагреватель с двумя температурными зонами и двумя катушками
★ Применяется для индукционного нагрева печей синтеза порошка карбида кремния (SiC)
★ Индукционный нагрев больших печей для выращивания кристаллов на подложках SiC с двумя катушками
★ Для печей синтеза порошка SiC подходят графитовые тигли с внешним диаметром 600–700 мм и высотой 900–1200 мм
★ Для подложек SiC подходят графитовые тигли с внешним диаметром 400–600 мм и высотой 700 мм
★ Высокоточный индукционный нагреватель для эпитаксии SiC
★ Индукционный нагрев печей эпитаксии карбида кремния (SiC)
★ Индукционный нагрев больших печей для выращивания эпитаксиальных кристаллов SiC
★ Подходит для индукционного нагрева эпитаксиальных подложек диаметром 4, 6, 8 и 12 дюймов
★ Источник питания для индукционного нагрева иридиевых и платиновых тиглей
★ Применяется для выращивания кристаллов ниобата лития, танталата лития, арсенида галлия и арсенида индия
★ Применяется для выращивания сцинтилляционных кристаллов иттрия-лютиния-алюминия-силиката и иодида натрия
★ Применяется для выращивания лазерных кристаллов YAG
★ Применяется для выращивания кристаллов алюмината иттрия
★ Новый сверхвысокочастотный источник индукционного нагрева для зонной плавки и очистки SiC
★ Применяется для зонной плавки и очистки полупроводникового материала германия
★ Применяется для зонной плавки и очистки полупроводникового материала индия
★ Новый мощный сверхвысокочастотный источник индукционного нагрева с высокочастотным «холодным тиглем» для SiC
★ Применяется для стеклообразного отверждения: магнитное поле полностью проникает через тигель и нагревает непосредственно материал внутри, при этом порошок, контактирующий с тиглем, лишь уплотняется, но не плавится, образуя защитную плёнку расплава
★ Применяется для нагрева тугоплавких оксидов до жидкого состояния, обеспечивая нагрев материала от комнатной температуры до 3000 ℃ с поддержанием расплава
Технические характеристики
1.Таблица моделей высокоточного индукционного нагревателя для выращивания кристаллов на подложках SiC
| Модель изделия | AtecFC-20/380T | AtecFC-40/380T | AtecFC-60/380T | AtecFC-80/380T |
| Входное питание | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，34A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，68A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，102A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，136A |
| Номинальная выходная мощность | 20Kw | 40Kw | 60Kw | 80Kw |
| Выходная частота | 2~20kHz(Возможна индивидуальная разработка, стандартный диапазон частот：2~4kHz，7~12kHz，15~20kHz) | |||
| Выходной ток | 200~2000A（Разработано в соответствии с размерами тигля, размерами индукционной катушки и рабочей частотой
） |
|||
| Размер корпуса
(mm) |
460x600x600 | 460x600x600 | 560x700x800 | 560x700x800 |
| Вес(kg) | 120kg | 150kg | 180kg | 200kg |
| Разрешающая способность по мощности | 0.0025%*Номинальная мощность | |||
| Точность управления | 0.02%*Номинальная мощность | |||
2.Таблица моделей высокоточного индукционного нагревателя для SiC сырьевых печей и высокоточного индукционного нагревателя с двумя каналами, двумя температурными зонами и двойной катушкой
| Модель продукта | AtecFC-2x40/380T-C9F1 | AtecFC-2x50/380T-C9F1 | AtecFC-2x60/380T-C9F1 | AtecFC-2x120/380T-HB1F1 |
| Входное питание | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，134A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，168A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，202A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，404A |
| Номинальная выходная мощность
|
2x40kW | 2x50kW | 2x60kW | 2x120kW |
| Выходная частота | 0.5~3kHz(Можно спроектировать и изготовить по индивидуальному заказу. Частота синхронного двухканального источника питания не должна быть слишком высокой, иначе помехи будут значительными.) | |||
| Выходной ток | 600~2000A（Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.） | |||
| Размер шкафа источника питания
(mm) |
W1600xH2100xL650 | W1600xH2100xL650 | W1000xH1800XL400 | W1600xH2100xL650 |
| Размер трансформаторного корпуса | W320xH500xL680 | W320xH500xL680 | W320xH500xL680 | W500xH600xL800 |
| Общий вес(kg) | 400kg | 420kg | 450kg | 600kg |
| Разрешающая способность по мощности | 0.0025%*Номинальная мощность | |||
| Точность управления | 0.02%*Номинальная мощность | |||
3.Таблица спецификаций высокоточного индукционного нагревателя для эпитаксии SiC
| Модель продукта | AtecFC-80/380T-A34F4.5 | AtecFC-80/380T-B2F4.5 | AtecFC-100/380T-C8X3F3.5（Имеется CE-сертификат） | AtecFC-100/380T-K1X3F3.5 |
| Входное питание | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，134A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，134A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，168A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，168A |
| Номинальная выходная мощность
|
80kW | 80kW | 100kW | 100kW |
| Выходная частота | 3.5kHz/4.5khz | |||
| Выходной ток | 1000~1600A（Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.） | |||
| Размер шкафа источника питания
(mm) |
W560xH950XL400 | W560xH800XL700 | W1100XH1400XL560 | W750xH1000xL900 |
| Размер трансформаторного корпуса | W403xH392xL600 | ——（Встроенный） | W250Xh450xL580 | ——（Встроенный） |
| Общий вес(kg) | 150kg | 150kg | 150kg | 200kg |
| Разрешающая способность по мощности | 0.0025%*Номинальная мощность | |||
| Точность управления | 0.02%*Номинальная мощность | |||
4.Таблица спецификаций индукционного нагревателя для нагрева тиглей из иридия и платины
| Модель продукта | AtecFC-20/380T | AtecFC-40/380T | AtecFC-60/380T | AtecFC-80/380T |
| Входное питание | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，34A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，67A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，101A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，134A |
| Номинальная выходная мощность
|
20kW | 40kW | 60kW | 80kW |
| Выходная частота | 2.5kHz/8khz | |||
| Выходной ток | 1200~2000A（Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.） | |||
| Размер шкафа источника питания
(mm) |
W560xH950XL400 | W560xH800XL700 | W560xH800XL700 | W560xH800XL700 |
| Размер трансформаторного корпуса | W400xH490xL700 | W400xH490xL700 | W400xH490xL700 | W400xH490xL700 |
| Общий вес(kg) | 200kg | 200kg | 200kg | 200kg |
| Разрешающая способность по мощности | 0.0025%*Номинальная мощность | |||
| Точность управления | 0.02%*Номинальная мощность | |||
5.Таблица спецификаций высокоточного индукционного нагревателя для зонной плавки и очистки
| Модель продукта | AtecDH-20/380T-A7F450
（Подходит для зонной плавки германия） |
AtecDH-30/380T-A7F100
（Подходит для зонной плавки индия） |
| Входное питаниеInput Power | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，34A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，50A |
| Номинальная выходная мощность
|
20kW | 30kW |
| Выходная частота | 100khz | 450khz |
| Выходной ток | 1600~2000A（Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.） | |
| Размер шкафа источника питания
(mm) |
W560xH950XL400 | W560xH800XL700 |
| Размер трансформаторного корпуса | W320xH500xL680 | W400xH490xL700 |
| Общий вес(kg) | 150kg | 200kg |
| Разрешающая способность по мощности | 0.1%*Номинальная мощность | |
| Точность управления | 0.5%*Номинальная мощность | |
6.Таблица спецификаций высокоточного индукционного нагревателя для кристалл роста с высокочастотным охлаждаемым тиглем
| Модель продукта | AtecDM-600/380T-H3F300 | AtecDM-150/380T-H4F300 |
| Входное питание | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，34A | Трёхфазный380V±5%，50Hz/60Hz，50A |
| Номинальная выходная мощность
|
600kW | 150kW |
| Выходная частота | 300khz | 300khz |
| Выходной ток | 2000~6000A（Разработано с учётом размеров тигля, размеров индукционной катушки и рабочей частоты.） | |
| Размер шкафа источника питания
(mm) |
W2800xH2000XL1200 | W2800xH2000XL1200 |
| Размер трансформаторного корпуса | ——Встроенный | ——Встроенный |
| Общий вес(kg) | 600kg | 600kg |
| Разрешающая способность по мощности | 0.1%*Номинальная мощность | |
| Точность управления | 0.5%*Номинальная мощность | |
Партнёры
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Термостойкий мощный сплавной индукционный кабель
Индукционные кабели этой серии в основном применяются для подогрева перед сваркой и послесварочно...
Источники питания для индукционного нагрева в металлообработке
Полностью воздушное охлаждение по технологии IGBT – энергоэффективность и экономия электроэнергии Долговечные спутники с высокой надежностью, низкими эксплуатационными расходами и расчетным сроком службы более 15 лет.
Источник постоянного тока
Высокая эффективность, надежность, точное управление, высокая точность и стабильность
Источники питания для индукционного нагрева нефтегазовых трубопроводов
Пионер в области технологии индукционного нагрева с воздушным охлаждением Бесперебойная работа в зимних условиях в холодных регионах
Источники питания для индукционного нагрева для пайки
Сверхкомпактная конструкция портативного генератора – адаптирована к технологическим требованиям 20 лет производственной практики – лучший выбор в отрасли.
Универсальные двухканальные/многоканальные источники питания для индукционного нагрева
Управление несколькими цепями оборудования, независимое управление несколькими температурными зонами, одновременное/независимое отопление может быть достигнуто
Серия воздушно-охлаждаемых индукторов
Индукторы серии с воздушным охлаждением в основном применяются для индукционного нагрева магнитоп...
Среднечастотный мощный коаксиальный кабель
Эта серия коаксиальных кабелей в основном используется для соединения между индукционным кабелем,...
Универсальные высокоточные источники питания для индукционного нагрева
Полностью цифровое управление – 24-часовая бесперебойная работа Двадцать лет технических осадков – стремление улучшить стабильность температурного поля.
Воздушно-охлаждаемый чиллер без компрессора
Энергоэффективность и низкое энергопотребление
Серия водяного охлаждения индукторов
Серия индукторов с водяным охлаждением в основном используется для нагрева непроводящих материало...
Источники питания для индукционного нагрева для посадки с натягом
Технология быстрого температурного контроля PID – не бойтесь перегрева, высокая стабильность индукционного нагрева Обновление технологии – полная защита, не требующая насильственного термического демонтажа
Универсальные источники питания для среднечастотного индукционного нагрева
Высокотехнологичный, энергоэффективный Высокая надежность, широкое применение
Универсальные портативные источники питания для индукционного нагрева
Портативный дизайн ручного генератора, мобильная эксплуатация более гибкая Полный дизайн главного блока с воздушным охлаждением, разделение воды и электричества более прочное.
Источник питания для индукционного нагрева оптоволокна
Высокоточный режим работы с постоянной мощностью – не боится колебаний сети Высокая надежность и низкая частота отказов – стабильная работа 24 часа в сутки
